| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Сокол, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Костюченко, С. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-10-27T11:30:14Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-13T06:17:36Z | - |
| dc.date.available | 2014-10-27T11:30:14Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-13T06:17:36Z | - |
| dc.date.issued | 2014 | - |
| dc.identifier.citation | Сокол, В. А. Электрохимическая технология микро- и наноэлектронных устройств / В. А. Сокол, С. А. Костюченко // Доклады БГУИР. - 2014. - № 2 (80). - С. 14 - 22. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1269 | - |
| dc.description.abstract | Приведены результаты работ по созданию электрохимической технологии микро- и
наноэлектронных устройств, в основном гибридных интегральных микросхем и
многокристальных модулей. Рассмотрены технологии алюминиевых оснований,
многоуровневых систем межсоединений и алюминиевых корпусов для гибридных
интегральных схем и сверхбольших интегральных схем. Представлены результаты работ по созданию электрохимической технологии изготовления наноэлектронных устройств, таких как матричные управляемые автоэмиссионные катоды и транзисторы, работающие на основе квантового эффекта одноэлектронного переноса. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | анодирование | ru_RU |
| dc.subject | алюминий | ru_RU |
| dc.subject | пористый оксид алюминия | ru_RU |
| dc.subject | наноэлектронные устройства | ru_RU |
| dc.title | Электрохимическая технология микро- и наноэлектронных устройств | ru_RU |
| dc.title.alternative | Electrochemical technology for micro- and nanoelectronic devices | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | №2 (80) Юбилейный
|
