https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1269| Title: | Электрохимическая технология микро- и наноэлектронных устройств |
| Other Titles: | Electrochemical technology for micro- and nanoelectronic devices |
| Authors: | Сокол, В. А. Костюченко, С. А. |
| Keywords: | доклады БГУИР;анодирование;алюминий;пористый оксид алюминия;наноэлектронные устройства |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Сокол, В. А. Электрохимическая технология микро- и наноэлектронных устройств / В. А. Сокол, С. А. Костюченко // Доклады БГУИР. - 2014. - № 2 (80). - С. 14 - 22. |
| Abstract: | Приведены результаты работ по созданию электрохимической технологии микро- и наноэлектронных устройств, в основном гибридных интегральных микросхем и многокристальных модулей. Рассмотрены технологии алюминиевых оснований, многоуровневых систем межсоединений и алюминиевых корпусов для гибридных интегральных схем и сверхбольших интегральных схем. Представлены результаты работ по созданию электрохимической технологии изготовления наноэлектронных устройств, таких как матричные управляемые автоэмиссионные катоды и транзисторы, работающие на основе квантового эффекта одноэлектронного переноса. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1269 |
| Appears in Collections: | №2 (80) Юбилейный |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Sokol_Elektrokhimicheskaya.PDF | 947.8 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.