Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1326
Title: Фотолитография на пленочных структурах ксерогель/пористый анодный оксид алюминия, сформированных в различных электролитах
Other Titles: Photolithography of film structures xerogel/porous anodic alumina prepared in various electrolytes
Authors: Хорошко, Л. С.
Ашариф, А. М.
Ореховская, Т. И.
Меледина, М. В.
Сокол, В. А.
Колосницын, Б. С.
Гапоненко, Н. В.
Keywords: доклады БГУИР
пористый анодный оксид алюминия
золь-гель
фотолитография
Issue Date: 2014
Publisher: БГУИР
Citation: Фотолитография на пленочных структурах ксерогель/пористый анодный оксид алюминия, сформированных в различных электролитах / Л. С. Хорошко [ и др.] // Доклады БГУИР. - 2014. - № 3 (81). - С. 101 - 105.
Abstract: Приведены результаты исследования морфологии микроструктурированных пленок пористого анодного оксида алюминия, сформированных с применением электрохимического анодирования, золь-гель синтеза, фотолитографии и химического травления. Для выполнения фотолитографии защитная металлическая маска не использовалась за счет формирования сплошной пленки ксерогеля. Обсуждаются перспективы применения таких структур в планарной оптоэлектронике и фотокатализе.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1326
Appears in Collections:№3 (81)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Khoroshko_Fotolitografiya.pdf835.14 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.