https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1439| Title: | Алгоритм выбора метода автоматического контроля топологии планарных структур |
| Authors: | Титко, Д. С. Титко, Е. А. Дайняк, И. В. |
| Keywords: | материалы конференций;планарная структура;дефект;топология |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Титко, Д. С. Алгоритм выбора метода автоматического контроля топологии планарных структур / Д. С. Титко, Е. А. Титко, И. В. Дайняк // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ-БГУИР : материалы конференции, Минск, 18–19 марта 2014 г. : в 2 ч. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: А. Н. Осипов [и др.]. – Минск, 2014. – С. 170–171. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1439 |
| ISBN: | 978-985-543-038-5 |
| Appears in Collections: | Секция «Высокоэнергетические пучковые технологии и прецизионное оборудование в производстве изделий электроники и оптики» |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| алгоритм.pdf | 343.68 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.