Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1439
Title: Алгоритм выбора метода автоматического контроля топологии планарных структур
Authors: Титко, Д. С.
Титко, Е. А.
Дайняк, И. В.
Keywords: материалы конференций;планарная структура;дефект;топология
Issue Date: 2014
Publisher: БГУИР
Citation: Титко, Д. С. Алгоритм выбора метода автоматического контроля топологии планарных структур. // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ-БГУИР (Минск, 18-19 марта 2014 года) : материалы конф. В 2 ч. Ч. 2. - Минск, 2014. - С. 170-171
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1439
ISBN: 978-985-543-038-5
Appears in Collections:Секция «Высокоэнергетические пучковые технологии и прецизионное оборудование в производстве изделий электроники и оптики»

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
алгоритм.pdf343.68 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.