https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1960| Title: | Радиационные эффекты в элементах субмикронных КМОП интегральных схем |
| Other Titles: | Radiation еffects in elements of submicron CMOS integrated circuits |
| Authors: | Коршунов, Ф. П. Богатырев, Ю. В. Белоус, А. И. Шведов, С. В. Малышев, В. С. Ластовский, С. Б. Карась, В. И. Гуринович, В. А. |
| Keywords: | доклады БГУИР;МОП-структуры;n- и p-канальные МОП транзисторы;элементы КМОП интегральных схем;гамма-излучение;CV-характеристики;вольтамперные характеристики |
| Issue Date: | 2011 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Радиационные эффекты в элементах субмикронных КМОП интегральных схем = Radiation еffects in elements of submicron CMOS integrated circuits / Ф. П. Коршунов [и др.] // Доклады БГУИР. – 2011. – № 4 (58). – С. 43–48. |
| Abstract: | Рассмотрено влияние гамма-излучения Со60 на параметры тестовых металл-окисел-полупроводник (МОП)-структур, а также n- и р-канальных МОП-транзисторов (МОПТ): элементов субмикронных (0,35 мкм) КМОП интегральных схем. Установлено, что при облучении происходит значительный сдвиг и уменьшение наклона СV-характеристик тестовых МОП-конденсаторов с толстым окислом (dox = 0,52 мкм); СV-характеристики МОП-структур с dox = 7 нм при облучении дозой D = 104 Гр практически не изменились. Сток-затворные вольтамперные характеристики (ВАХ) n-МОПТ «классической» конструкции при облучении изменились более значительно по токам утечки, чем ВАХ n-МОПТ «кольцевой» конструкции. ВАХ «классических» р-МОПТ при облучении изменились за счет небольшого сдвига в сторону отрицательных напряжений затвора, однако токи утечки р-МОПТ возросли незначительно. Обнаружена корреляция токов утечки «классических» n-МОПТ и токов через паразитный n-МОПТ при облучении в пассивном и активном электрическом режиме. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1960 |
| Appears in Collections: | №4 (58) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Korshunov_Radiatsionnyye.PDF | 473.02 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.