Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2007
Title: Исследование закономерностей формирования германосиликатного стекла в процессе термической обработки поликристаллических пленок кремния, легированных германием
Other Titles: Regularities in formation of germanosilicate glass during heat treatment of polycrystalline silicon films doped with germanium
Authors: Строгова, Н. С.
Строгова, А. С.
Ковалевский, А. А.
Цыбульский, В. В.
Власукова, Л. А.
Борисевич, В. М.
Keywords: доклады БГУИР;германосиликатное стекло;кремний;германий;нанокластеры;термическая обработка
Issue Date: 2011
Publisher: БГУИР
Citation: Исследование закономерностей формирования германосиликатного стекла в процессе термической обработки поликристаллических пленок кремния, легированных германием / Н. С. Строгова [и др.] // Доклады БГУИР. - 2011. - № 6 (60). - С. 56 - 61.
Abstract: Исследован процесс формирования и свойств пленок германосиликатного стекла в процессе окисления пленок наноструктурированного поликристаллического кремния, легированного германием. Приведен химический состав пленок ГСС и его фазовые превращения в результате термического воздействия.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2007
Appears in Collections:№6 (60)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Strogova_Issledovaniye.PDF1.37 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.