https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2435| Title: | Физико-химические процессы производства изделий интегральной электроники: лаборатор. практикум по дисциплинам «Конструирование и технология изд. интеграл. электроники», «Физ.- хим. основы материалов и электрон. компонентов» для студентов специальностей «Проектирование и пр-во РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии», «Электронные системы безопасности» |
| Authors: | Ануфриев, Л. П. Достанко, А. П. Касинский, Н. К. Ковальчук, Н. С. Коробко, А. О. Ланин, В. Л. Соловьев, Я. А. Томаль, В. С. Русецкий, А. М. |
| Keywords: | учебно-методические пособия;интегральная электроника;производство изделий;физико-химические процессы |
| Issue Date: | 2011 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Физико-химические процессы производства изделий интегральной электроники: лаборатор. практикум по дисциплинам «Конструирование и технология изд. интеграл. электроники», «Физ.- хим. основы материалов и электрон. компонентов» для студентов специальностей «Проектирование и пр-во РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии», «Электронные системы безопасности» / Л. П. Ануфриев [и др.] ; под ред. акад. НАН Беларуси А. П. Достанко. – Минск : БГУИР, 2011. – 47 с. |
| Abstract: | Лабораторный практикум включает в себя исследования процессов формирования легированных областей диффузией, химической обработки и плазмохимического травления кремниевых пластин. Предназначен для закрепления и углубления теоретических знаний, приобретения практических навыков работы с технологическим оборудованием и приборами контроля параметров слоев полупроводниковых приборов. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2435 |
| ISBN: | 978-985-488-749-4 |
| Appears in Collections: | Кафедра электронной техники и технологии |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Met_2011.pdf | 2.02 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.