Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2435
Title: Физико-химические процессы производства изделий интегральной электроники: лаборатор. практикум по дисциплинам «Конструирование и технология изд. интеграл. электроники», «Физ.- хим. основы материалов и электрон. компонентов» для студентов специальностей «Проектирование и пр-во РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии», «Электронные системы безопасности»
Authors: Ануфриев, Л. П.
Достанко, А. П.
Касинский, Н. К.
Ковальчук, Н. С.
Коробко, А. О.
Ланин, В. Л.
Соловьев, Я. А.
Томаль, В. С.
Русецкий, А. М.
Keywords: учебно-методические пособия;интегральная электроника;производство изделий;физико-химические процессы
Issue Date: 2011
Publisher: БГУИР
Citation: Физико-химические процессы производства изделий интегральной электроники: лаборатор. практикум по дисциплинам «Конструирование и технология изд. интеграл. электроники», «Физ.- хим. основы материалов и электрон. компонентов» для студентов специальностей «Проектирование и пр-во РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии», «Электронные системы безопасности» / Л. П. Ануфриев и др. ; под ред. акад. НАН Беларуси А. П. Достанко. – Минск : БГУИР, 2011. – 47 с.
Abstract: Лабораторный практикум включает в себя исследования процессов формирования легированных областей диффузией, химической обработки и плазмохимического травления кремниевых пластин. Предназначен для закрепления и углубления теоретических знаний, приобретения практических навыков работы с технологическим оборудованием и приборами контроля параметров слоев полупроводниковых приборов.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2435
ISBN: 978-985-488-749-4
Appears in Collections:Кафедра электронной техники и технологии

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Met_2011.pdf2.02 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.