| Title: | Фазо-структурные особенности, электрофизические и сорбционные свойства пленок snox, полученных термическим окислением олова |
| Authors: | Зарапин, В. Г. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;оксидные пленки;диоксид олова;микроструктура;фазовый состав;полупроводник;барьерная модель;адсорбционно-чувствительные свойства;изотерма адсорбции;химический сенсор;oxide films;tin dioxide;microstructure;phase structure;semiconductor;barrier model adsorption-sensitive property |
| Issue Date: | 2002 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Зарапин, В. Г. Фазо-структурные особенности, электрофизические и сорбционные свойства пленок snox, полученных термическим окислением олова: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / В. Г. Зарапин; науч. рук. И. М. Жарский. – Минск : БГУИР, 2002. - 18 с. |
| Abstract: | Цель работы - определить оптимальные режимы окисления пленок олова для формирования стабильных пленок SnOx, исследовать происходящие при окислении структурно-фазовые превращения, исследовать структуру, особенности химических и электрофизических свойств сформированных пленок SnOx, исследовать адсорбционно-чувствительные свойства пленок и установить возможности применения сенсоров на их основе для контроля качества продукции. |
| Alternative abstract: | The aim of the work is determine optimum modes of oxidation of tin films for formation stable SnOx films, the investigate of the occurring with oxidation structural-phase transformations, the investigate of structure, feature chemical and physical properties generated SnOx films, the investigate of adsorption-sensitive properties of films and to establish opportunities of application on their basis sensors for quality surveillance of production. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/25035 |
| Appears in Collections: | 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
|
