Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/25035
Title: Фазо-структурные особенности, электрофизические и сорбционные свойства пленок snox, полученных термическим окислением олова
Authors: Зарапин, В. Г.
Keywords: авторефераты диссертаций;оксидные пленки;диоксид олова;микроструктура;фазовый состав;полупроводник;барьерная модель;адсорбционно-чувствительные свойства;изотерма адсорбции;химический сенсор;oxide films;tin dioxide;microstructure;phase structure;semiconductor;barrier model adsorption-sensitive property
Issue Date: 2002
Publisher: БГУИР
Citation: Зарапин, В. Г. Фазо-структурные особенности, электрофизические и сорбционные свойства пленок snox, полученных термическим окислением олова: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / В. Г. Зарапин; науч. рук. И. М. Жарский. – Минск : БГУИР, 2002. - 18 с.
Abstract: Цель работы - определить оптимальные режимы окисления пленок олова для формирования стабильных пленок SnOx, исследовать происходящие при окислении структурно-фазовые превращения, исследовать структуру, особенности химических и электрофизических свойств сформированных пленок SnOx, исследовать адсорбционно-чувствительные свойства пленок и установить возможности применения сенсоров на их основе для контроля качества продукции.
Alternative abstract: The aim of the work is determine optimum modes of oxidation of tin films for formation stable SnOx films, the investigate of the occurring with oxidation structural-phase transformations, the investigate of structure, feature chemical and physical properties generated SnOx films, the investigate of adsorption-sensitive properties of films and to establish opportunities of application on their basis sensors for quality surveillance of production.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/25035
Appears in Collections:05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Zarapin_Fazo.pdf1.21 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.