Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/25035
Title: Фазо-структурные особенности, электрофизические и сорбционные свойства пленок snox, полученных термическим окислением олова
Authors: Зарапин, В. Г.
Keywords: авторефераты диссертаций;оксидные пленки;диоксид олова;микроструктура;фазовый состав;полупроводник;барьерная модель;адсорбционно-чувствительные свойства;изотерма адсорбции;химический сенсор;oxide films;tin dioxide;microstructure;phase structure;semiconductor;barrier model adsorption-sensitive property
Issue Date: 2002
Publisher: БГУИР
Citation: Зарапин, В. Г. Фазо-структурные особенности, электрофизические и сорбционные свойства пленок snox, полученных термическим окислением олова: автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / В. Г. Зарапин; науч. рук. И. М. Жарский. – Минск : БГУИР, 2002. - 18 с.
Abstract: Цель работы - определить оптимальные режимы окисления пленок олова для формирования стабильных пленок SnOx, исследовать происходящие при окислении структурно-фазовые превращения, исследовать структуру, особенности химических и электрофизических свойств сформированных пленок SnOx, исследовать адсорбционно-чувствительные свойства пленок и установить возможности применения сенсоров на их основе для контроля качества продукции. The aim of the work is determine optimum modes of oxidation of tin films for formation stable SnOx films, the investigate of the occurring with oxidation structural-phase transformations, the investigate of structure, feature chemical and physical properties generated SnOx films, the investigate of adsorption-sensitive properties of films and to establish opportunities of application on their basis sensors for quality surveillance of production.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/25035
Appears in Collections:05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Zarapin_Fazo.pdf1.21 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.