Разработка и исследование электрохимического формирования в ультразвуковом поле металлизации в отверстиях промежуточной монтажной кремниевой пластины при создании объемных 2,5d микросхем : отчет о НИР (заключ.)

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27091

Title:	Разработка и исследование электрохимического формирования в ультразвуковом поле металлизации в отверстиях промежуточной монтажной кремниевой пластины при создании объемных 2,5d микросхем : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Хмыль, А. А. Кушнер, Л. К. Кузьмар, И. И. Богуш, Н. В. Василец, В. К.
Keywords:	отчеты о НИР
Issue Date:	2016
Publisher:	БГУИР
Citation:	Разработка и исследование электрохимического формирования в ультразвуковом поле металлизации в отверстиях промежуточной монтажной кремниевой пластины при создании объемных 2,5d микросхем : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель А. А. Хмыль ; отв. исполнитель Л. К. Кушнер . – Минск , 2016. – 53 с. - № ГР 20142482
Series/Report no.:	ГБЦ 14-3017;;
Gov't Doc #:	№ ГР 20142482
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27091
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2016

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20142482 (14-3017)_Рук_НИР_Хмыль.pdf Restricted Access		3.56 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy