Метод резерфордовского обратного рассеяния при анализе состава твердых тел: учебно-метод. пособие к выполнению лабораторной работы по курсу «Физика» для студ. всех спец. и форм обучения БГУИР

Abstract

В учебно-методическом пособии метод резерфордовского обратного рассеяния адаптирован для элементного послойного анализа распределения компонентов в объеме твердых тел на примере алюминиевых сплавов. Описаны физические основы метода для анализа поверхности твердого тела. Изложены его область применения и методика анализа. Предназначено для студентов всех специальностей и инженерно-технических работников, создающих и исследующих материалы для микро– и радиоэлектроники, а также изучающих поверхность изделий.