Разработать модели для расчета распределений примесных атомов после быстрого термического отжига имплантированных слоев кремния в условиях подавления скоротечной диффузии : отчет о НИР (заключ.)

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27492

Title:	Разработать модели для расчета распределений примесных атомов после быстрого термического отжига имплантированных слоев кремния в условиях подавления скоротечной диффузии : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Величко, О. И. Аксенов, В. А. Бурунова, О. Н. Княжева, Н. В. Гундорина, Е. А.
Issue Date:	2011
Publisher:	БГУИР
Citation:	Разработать модели для расчета распределений примесных атомов после быстрого термического отжига имплантированных слоев кремния в условиях подавления скоротечной диффузии : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель О. И. Величко ; отв. исполнитель В. А. Аксенов . - Минск , 2011 . – 95 с. - № ГР 20091365
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27492
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2011

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20091365 (09-050)_Рук_НИР_Величко.pdf Restricted Access		1.93 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy