Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27758
Title: Исследовать влияние технологических процессов изготовления элементов ИС на структурные и химические свойства наноструктурированного кремния и разработать микроэлектромеханические системы (МЭМС), использующие энергию горения и взрыва наноструктурированного кремния : отчет о НИР (заключ.)
Authors: Лазарук, С. К.
Долбик, А. В.
Issue Date: 2014
Publisher: БГУИР
Citation: Исследовать влияние технологических процессов изготовления элементов ИС на структурные и химические свойства наноструктурированного кремния и разработать микроэлектромеханические системы (МЭМС), использующие энергию горения и взрыва наноструктурированного кремния : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель С. К. Лазарук ; отв. исполнитель А. В. Долбик. – Минск, 2014. – 44 с. - № ГР 20120762
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27758
Appears in Collections:Отчеты о НИР 2014

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
№ ГР 20120762 (11-3071)_Рук_НИР_Лазарук.pdf
  Restricted Access
4.25 MBAdobe PDFView/Open Request a copy
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.