Исследовать влияние технологических процессов изготовления элементов ИС на структурные и химические свойства наноструктурированного кремния и разработать микроэлектромеханические системы (МЭМС), использующие энергию горения и взрыва наноструктурированного кремния : отчет о НИР (заключ.)

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27758

Title:	Исследовать влияние технологических процессов изготовления элементов ИС на структурные и химические свойства наноструктурированного кремния и разработать микроэлектромеханические системы (МЭМС), использующие энергию горения и взрыва наноструктурированного кремния : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Лазарук, С. К. Долбик, А. В.
Issue Date:	2014
Publisher:	БГУИР
Citation:	Исследовать влияние технологических процессов изготовления элементов ИС на структурные и химические свойства наноструктурированного кремния и разработать микроэлектромеханические системы (МЭМС), использующие энергию горения и взрыва наноструктурированного кремния : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель С. К. Лазарук ; отв. исполнитель А. В. Долбик. – Минск, 2014. – 44 с. - № ГР 20120762
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27758
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20120762 (11-3071)_Рук_НИР_Лазарук.pdf Restricted Access		4.25 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy