Моделирование процессов формирования микро- и наноструктур управляемого состава с заданной геометрией расположения на поверхности подложки с учетом процессов распыления мишени, транспорта вещества и конденсации на подложке : отчет о НИР (заключ.)

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27765

Title:	Моделирование процессов формирования микро- и наноструктур управляемого состава с заданной геометрией расположения на поверхности подложки с учетом процессов распыления мишени, транспорта вещества и конденсации на подложке : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Достанко, А. П. Мельников, С. Н.
Issue Date:	2014
Publisher:	БГУИР
Citation:	Моделирование процессов формирования микро- и наноструктур управляемого состава с заданной геометрией расположения на поверхности подложки с учетом процессов распыления мишени, транспорта вещества и конденсации на подложке : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель А. П. Достанко ; отв. исполнитель С. Н. Мельников .– Минск, 2014. –105 с. - № ГР 20113903
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27765
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20113903 (11-3046_).pdf Restricted Access		9.54 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy