Получение барьерных и контактных слоев термостабильных силицидов металлов и проводящих оксидов ионно-плазменными методами для изделий электронной техники : отчет о НИР (заключ.)

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27777

Title:	Получение барьерных и контактных слоев термостабильных силицидов металлов и проводящих оксидов ионно-плазменными методами для изделий электронной техники : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Достанко, А. П. Телеш, Е. В. Коробко, А. О. Гуревич, О. В. Римша, А. В. Ковалева, А. П.
Issue Date:	2014
Publisher:	БГУИР
Citation:	Получение барьерных и контактных слоев термостабильных силицидов металлов и проводящих оксидов ионно-плазменными методами для изделий электронной техники : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель А. П. Достанко ; отв. исполнитель Е. В.Телеш . – Минск, 2014. – 55 с. - № ГР 20120395
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27777
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20120395 (11-3049)_Рук_НИР_Достанко.pdf Restricted Access		3.45 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy