Разработать принципы формирования вторичных ионных пучков, высокочастотного и среднечастотного разрядов в магнетронных распылительных системах : отчет о НИР (заключ.)

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27800

Title:	Разработать принципы формирования вторичных ионных пучков, высокочастотного и среднечастотного разрядов в магнетронных распылительных системах : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Достанко, А. П. Телеш, Е. В. Голосов, Д. А. Завадский, С. М. Вашуров, А. Ю. Ковалева, А. П.
Issue Date:	2014
Publisher:	БГУИР
Citation:	Разработать принципы формирования вторичных ионных пучков, высокочастотного и среднечастотного разрядов в магнетронных распылительных системах : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель А. П. Достанко ; отв. исполнитель Е. В. Телеш . – Минск, 2014. – 80 с. - № ГР 20115151
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27800
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20115151 (11-3106).pdf Restricted Access		14.81 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy