Разработать технологию модификации наноразмерных пленок плотных анодных оксидов алюминия для применения в микроэлектронных приборах : отчет о НИР (заключ.)

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27802

Title:	Разработать технологию модификации наноразмерных пленок плотных анодных оксидов алюминия для применения в микроэлектронных приборах : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Сокол, В. А. Яковцева, В. А. Радионов, А. А. Копоть, А. И. Глушков, А. А. Бобрович, Ю. М. Мельникова, С. В. Короткевич, Д. А. Биран, С. А.
Issue Date:	2014
Publisher:	БГУИР
Citation:	Разработать технологию модификации наноразмерных пленок плотных анодных оксидов алюминия для применения в микроэлектронных приборах : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель В. А. Сокол ; отв. исполнитель В. А. Яковцева . – Минск, 2014. – 65 с. - № ГР 20121095
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27802
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20121095 (11-3038)_Рук_НИР_Сокол.pdf Restricted Access		4.45 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy