Разработка технологии создания прецизионных 3d-структур на основе сверхтолстых эпоксидных фоторезистов и формирования гальваническим осаждением функциональных материалов : отчет о НИР (заключ.)

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27861

Title:	Разработка технологии создания прецизионных 3d-структур на основе сверхтолстых эпоксидных фоторезистов и формирования гальваническим осаждением функциональных материалов : отчет о НИР (заключ.)
Authors:	Тимошков, Ю. В. Сакова, А. А. Тимошков, В. Ю.
Issue Date:	2014
Publisher:	БГУИР
Citation:	Разработка технологии создания прецизионных 3d-структур на основе сверхтолстых эпоксидных фоторезистов и формирования гальваническим осаждением функциональных материалов : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель Ю. В. Тимошков ; отв. исполнитель Ю. В. Тимошков. – Минск, 2014. – 28 с. - № ГР 20122084
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27861
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
№ ГР 20122084 (11-3043)_Рук_НИР_Тимошков.pdf Restricted Access		7.22 MB	Adobe PDF	View/Open Request a copy