https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28366| Title: | Применение метода атомно – силовой микроскопии для исследования морфологии поверхности тонких пленок, сформированных методом ионно – ассистированного осаждения |
| Authors: | Ташлыкова-Бушкевич, И. И. Яковенко, Ю. С. Ташлыков, И. С. Барайшук, С. М. Михалкович, О. М. |
| Keywords: | публикации ученых;морфология;шероховатость;тонкие пленки;ионно-ассистированное осаждение |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | ИТиМО НАН Беларуси |
| Citation: | Применение метода атомно – силовой микроскопии для исследования морфологии поверхности тонких пленок, сформированных методом ионно – ассистированного осаждения / И. И. Ташлыкова-Бушкевич и др. // Методологические аспекты сканирующей зондовой микроскопии: материалы XII Междунар. науч. Конф. – Минск: ИТиМО НАН Беларуси, 2016. – С. 94 – 98. |
| Abstract: | В работе представлены результаты исследования топографии поверхности тонких пленок состава Al – 1,0 ат.% Cr, Al – 1,5 ат.% Fe, сформированных ионно – ассистированным осаждением на стеклянных подложках. Получены данные по шероховатости исследованных поверхностей. Обсуждается процесс формирования пленок. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28366 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Yakovenko_Primeneniye.PDF | 942.94 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.