Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28803
Title: Измерение глубины нарушенного слоя на поверхности кремниевых пластин методом оже-спектроскопии
Authors: Солодуха, В. А.
Белоус, А. И.
Keywords: публикации ученых;кремниевая пластина;нарушенный слой;оже-электроны;глубина нарушений
Issue Date: 2016
Publisher: Белорусский государственный технический университет, Республика Беларусь
Citation: Солодуха, В. А. Измерение глубины нарушенного слоя на поверхности кремниевых пластин методом оже-спектроскопии / В. А. Солодуха, А. И. Белоус // Наука и техника. – 2016. – № 4(15). – С. 329 – 334. – DOI: 10.21122/2227-1031-2016-15-4-329–334.
Abstract: Предложен метод измерения глубины нарушенного слоя на поверхности кремниевых пластин, основанный на использовании оже-спектрометра с прецизионным распылением поверхностных слоев кремния и регистрацией интенсивности выхода оже-электронов. Для измерения глубины нарушенного слоя с помощью оже-спектроскопии снимается зависимость количества выходящих оже-электронов от времени распыления (профиль), и затем эта зависимость анализируется.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28803
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Solodukha_Izmereniye.pdf565.01 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.