https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28809| Title: | Анализ дефектов интегральных схем с использованием атомно-силового микроскопа |
| Authors: | Пилипенко, В. А. Солодуха, В. А. Шведов, С. В. Петлицкий, А. Н. Петлицкая, Т. В. Шабалина, С. В. Устименко, Д. С. |
| Keywords: | публикации ученых дефект микросхемы сканирующий зондовый микроскоп прецизионная химикомеханическая полировка |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | «Политехпериодика», Украина |
| Citation: | Анализ дефектов интегральных схем с использованием атомно-силового микроскопа / В. А. Пилипенко и др. // Современные информационные и электронные технологии: Международная научно-практическая конференция (Одесса, 22 — 26 мая 2017 г.). – Одесса: Политехпериодика. – С. 83 – 84. |
| Abstract: | В работе представлены результаты комплексного анализа дефекта межслойного диэлектрика микросхемы 1594 ЛИ9Т. Глубина дефекта определялась с помощью сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) при последовательном удалении межслойного диэлектрика методом прецизионной химикомеханической полировки. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28809 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pilipenko_Analiz.pdf | 568,99 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.