Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28809
Title: Анализ дефектов интегральных схем с использованием атомно-силового микроскопа
Authors: Пилипенко, В. А.
Солодуха, В. А.
Шведов, С. В.
Петлицкий, А. Н.
Петлицкая, Т. В.
Шабалина, С. В.
Устименко, Д. С.
Keywords: публикации ученых
дефект микросхемы
сканирующий зондовый микроскоп
прецизионная химикомеханическая полировка
Issue Date: 2017
Publisher: «Политехпериодика», Украина
Citation: Анализ дефектов интегральных схем с использованием атомно-силового микроскопа / В. А. Пилипенко и др. // Современные информационные и электронные технологии: Международная научно-практическая конференция (Одесса, 22 — 26 мая 2017 г.). – Одесса: Политехпериодика. – С. 83 – 84.
Abstract: В работе представлены результаты комплексного анализа дефекта межслойного диэлектрика микросхемы 1594 ЛИ9Т. Глубина дефекта определялась с помощью сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) при последовательном удалении межслойного диэлектрика методом прецизионной химикомеханической полировки.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28809
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pilipenko_Analiz.pdf568,99 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.