Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28809
Title: Анализ дефектов интегральных схем с использованием атомно-силового микроскопа
Authors: Пилипенко, В. А.
Солодуха, В. А.
Шведов, С. В.
Петлицкий, А. Н.
Петлицкая, Т. В.
Шабалина, С. В.
Устименко, Д. С.
Keywords: публикации ученых;дефект микросхемы;сканирующий зондовый микроскоп;прецизионная химикомеханическая полировка
Issue Date: 2017
Publisher: «Политехпериодика»
Citation: Анализ дефектов интегральных схем с использованием атомно-силового микроскопа / В. А. Пилипенко [и др.] // Современные информационные и электронные технологии : Международная научно-практическая конференция, Одесса, 22-26 мая 2017 г. – Одесса : Политехпериодика. – С. 83–84.
Abstract: В работе представлены результаты комплексного анализа дефекта межслойного диэлектрика микросхемы 1594 ЛИ9Т. Глубина дефекта определялась с помощью сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) при последовательном удалении межслойного диэлектрика методом прецизионной химикомеханической полировки.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28809
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pilipenko_Analiz.pdf568.99 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.