Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28812
Title: Использование четырехзондового наноманипулятора для измерения вольтамперной характеристики биполярного N-P-N -транзистора
Authors: Пилипенко, В. А.
Солодуха, В. А.
Петлицкий, А. Н.
Шведов, С. В.
Панфиленко, А. К.
Петлицкая, Т. В.
Филипеня, В. А.
Жигулин, Д. В.
Keywords: публикации ученых
интегральная микросхема
биполярный транзистор
ВАХ
столбиковые контакты
нанозонды
химико-механическая полировка
Issue Date: 2016
Publisher: «Политехпериодика», Украина
Citation: Использование четырехзондового наноманипулятора для измерения вольтамперной характеристики биполярного N-P-N -транзистора / В. А. Пилипенко и др. // Современные информационные и электронные технологии: Международная научно-практическая конференция (Одесса, 23 — 27 мая 2016 г.). – Одесса: Политехпериодика. – С. 148 – 149.
Abstract: В работе представлены результаты по получению вольтамперных характеристик (ВАХ) биполярного n-p-n- транзистора в составе микросхемы с субмикронными проектными нормами. Измерения проводились с использование растрового электронного микроскопа. Зонды устанавливались на вольфрамовые столбики. Для подготовки образца использовался метод прецизионной химико-механической подготовки.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28812
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pilipenko_Ispolzovaniye.pdf370,9 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.