https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28812| Title: | Использование четырехзондового наноманипулятора для измерения вольтамперной характеристики биполярного N-P-N -транзистора |
| Authors: | Пилипенко, В. А. Солодуха, В. А. Петлицкий, А. Н. Шведов, С. В. Панфиленко, А. К. Петлицкая, Т. В. Филипеня, В. А. Жигулин, Д. В. |
| Keywords: | публикации ученых;интегральная микросхема;биполярный транзистор;ВАХ;столбиковые контакты;нанозонды;химико-механическая полировка |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | «Политехпериодика» |
| Citation: | Использование четырехзондового наноманипулятора для измерения вольтамперной характеристики биполярного N-P-N -транзистора / В. А. Пилипенко и др. // Современные информационные и электронные технологии: Международная научно-практическая конференция (Одесса, 23 — 27 мая 2016 г.). – Одесса: Политехпериодика. – С. 148 – 149. |
| Abstract: | В работе представлены результаты по получению вольтамперных характеристик (ВАХ) биполярного n-p-n- транзистора в составе микросхемы с субмикронными проектными нормами. Измерения проводились с использование растрового электронного микроскопа. Зонды устанавливались на вольфрамовые столбики. Для подготовки образца использовался метод прецизионной химико-механической подготовки. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28812 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pilipenko_Ispolzovaniye.pdf | 370.9 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.