Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29369
Title: Исследование влияния чистоты поверхности подложек на процесс образования и трансформацию нанокластеров кремний-германий
Other Titles: Investigation of the Influence of Cleanliness of the Substrate Surface on Formation and Transformation of the Silicon-Germanium Nanoclusters
Authors: Ковалевский, А. А.
Строгова, А. С.
Комар, О. М.
Keywords: публикации ученых;трансформация;нанокластеры;кремний;германий;оксиды;могогерман;моносилан;диспрозий;иттрий
Issue Date: 2017
Publisher: ООО "Издательство "Новые технологии"
Citation: Ковалевский, А. А. Исследование влияния чистоты поверхности подложек на процесс образования и трансформацию нанокластеров кремний-германий = Investigation of the Influence of Cleanliness of the Substrate Surface on Formation and Transformation of the Silicon-Germanium Nanoclusters / А. А. Ковалевский, А. С. Строгова, О. М. Комар // Нано- и микросистемная техника. – 2017. – № 3. – С.149–158.
Abstract: Установлено, что степень совершенства поверхности следует рассматривать как существенную часть общей задачи приготовления чистой поверхности перед процессом формирования нанокластеров SiGe и подавления их трансформации от наноразмеров к микроразмерам. Показано, что для самоорганизации нанокластеров SiGe выгодно малое смещение поверхностных атомов сложных структур на чистой поверхности с образованием связей типа Ge-Ge или Si-Si.
Alternative abstract: It was established that the degree of perfection of a surface should be considered as an essential part of the general task of preparation of a clean surface before the process of formation of SiGe nanoclusters and suppression of their transformation from the nanoscale to the microscale. It was demonstrated that a small displacement of the surface atoms of the complex structures on a clean surface with formation of Ge-Ge or Si-Si bonds is beneficial for the self-organization of SiGe nanoclusters.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29369
DOI: 10.17587/nmst.19.149-158
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kovalevsky_Investigation.pdf506.61 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.