https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29369
Title: | Исследование влияния чистоты поверхности подложек на процесс образования и трансформацию нанокластеров кремний-германий |
Other Titles: | Investigation of the Influence of Cleanliness of the Substrate Surface on Formation and Transformation of the Silicon-Germanium Nanoclusters |
Authors: | Ковалевский, А. А. Строгова, А. С. Комар, О. М. |
Keywords: | публикации ученых;трансформация;нанокластеры;кремний;германий;оксиды;могогерман;моносилан;диспрозий;иттрий |
Issue Date: | 2017 |
Publisher: | ООО "Издательство "Новые технологии" |
Citation: | Ковалевский, А. А. Исследование влияния чистоты поверхности подложек на процесс образования и трансформацию нанокластеров кремний-германий = Investigation of the Influence of Cleanliness of the Substrate Surface on Formation and Transformation of the Silicon-Germanium Nanoclusters / А. А. Ковалевский, А. С. Строгова, О. М. Комар // Нано- и микросистемная техника. – 2017. – № 3. – С.149–158. |
Abstract: | Установлено, что степень совершенства поверхности следует рассматривать как существенную часть общей задачи приготовления чистой поверхности перед процессом формирования нанокластеров SiGe и подавления их трансформации от наноразмеров к микроразмерам. Показано, что для самоорганизации нанокластеров SiGe выгодно малое смещение поверхностных атомов сложных структур на чистой поверхности с образованием связей типа Ge-Ge или Si-Si. |
Alternative abstract: | It was established that the degree of perfection of a surface should be considered as an essential part of the general task of preparation of a clean surface before the process of formation of SiGe nanoclusters and suppression of their transformation from the nanoscale to the microscale. It was demonstrated that a small displacement of the surface atoms of the complex structures on a clean surface with formation of Ge-Ge or Si-Si bonds is beneficial for the self-organization of SiGe nanoclusters. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29369 |
DOI: | 10.17587/nmst.19.149-158 |
Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Kovalevsky_Investigation.pdf | 506.61 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.