Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29369
Title: Исследование влияния чистоты поверхности подложек на процесс образования и трансформацию нанокластеров кремний-германий
Authors: Ковалевский, А. А.
Строгова, А. С.
Комар, О. М.
Keywords: публикации ученых;трансформация;нанокластеры;кремний;германий;оксиды;могогерман;моносилан;диспрозий;иттрий
Issue Date: 2017
Publisher: Ежемесячный междисциплинарный теоретический и прикладной научно-технический журнал, Российская Федерация
Citation: Ковалевский, А. А. Исследование влияния чистоты поверхности подложек на процесс образования и трансформацию нанокластеров кремний-германий / А. А. Ковалевский, А. С. Строгова, О. М. Комар // Нано- и микросистемная техника. – 2017. – № 3. – С.149 – 158. – DOI: 10.17587/nmst.19.149-158.
Abstract: Статья посвящена философско-методологическому анализу практической эффективности современной математики. Философы науки солидарны в том, что непостижимая эффективность не может быть объяснена без прояснения на генетическом уровне практической востребованности математических структур.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29369
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kovalevskiy_Issledovaniye.pdf159.56 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.