Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29373
Title: Механизм растворения изовалентной примеси в ультратонких пленках поликристаллического кремния
Authors: Ковалевский, А. А.
Строгова, А. С.
Гранько, С. В.
Keywords: материалы конференций
пленки кремния и германия
примесные атомы
синхронизация
твердый раствор
полупроводник
легирующая примесь
Issue Date: 2017
Publisher: Севастопольский государственный университет, Севастополь
Citation: Ковалевский, А. А. Механизм растворения изовалентной примеси в ультратонких пленках поликристаллического кремния / А. А. Ковалевский, А. С. Строгова, С. В. Гранько // Microwave & Telecommunication Technology: 27 th International Conference (CriMiCo’2017) (Sevastopol, September 10 – 16, 2017). – Sevastopol, 2017. – С. 1042 – 1049.
Abstract: Представлен механизм растворения изовалентной примеси в ультратонких пленках поликристаллического кремния и выведена формула расчета равновесной концентрации носителей заряда при легировании поликристаллических пленок кремния германием. Установлено, что равновесная концентрация германия в ультратонких пленках поликристаллического кремния меняется пропорционально корню квадратному величины давления его одноатомных паров в газовой фазе.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29373
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kovalevskiy_Mekhanizm.pdf150.76 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.