https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29373| Title: | Механизм растворения изовалентной примеси в ультратонких пленках поликристаллического кремния |
| Authors: | Ковалевский, А. А. Строгова, А. С. Гранько, С. В. |
| Keywords: | материалы конференций;пленки кремния и германия;примесные атомы;синхронизация;твердый раствор;полупроводник;легирующая примесь |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | Севастопольский государственный университет |
| Citation: | Ковалевский, А. А. Механизм растворения изовалентной примеси в ультратонких пленках поликристаллического кремния / А. А. Ковалевский, А. С. Строгова, С. В. Гранько // Microwave & Telecommunication Technology: 27 th International Conference (CriMiCo’2017) (Sevastopol, September 10 – 16, 2017). – Sevastopol, 2017. – С. 1042 – 1049. |
| Abstract: | Представлен механизм растворения изовалентной примеси в ультратонких пленках поликристаллического кремния и выведена формула расчета равновесной концентрации носителей заряда при легировании поликристаллических пленок кремния германием. Установлено, что равновесная концентрация германия в ультратонких пленках поликристаллического кремния меняется пропорционально корню квадратному величины давления его одноатомных паров в газовой фазе. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29373 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kovalevskiy_Mekhanizm.pdf | 150.76 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.