https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29373| Название: | Механизм растворения изовалентной примеси в ультратонких пленках поликристаллического кремния |
| Авторы: | Ковалевский, А. А. Строгова, А. С. Гранько, С. В. |
| Ключевые слова: | материалы конференций;пленки кремния и германия;примесные атомы;синхронизация;твердый раствор;полупроводник;легирующая примесь |
| Дата публикации: | 2017 |
| Издательство: | Севастопольский государственный университет |
| Описание: | Ковалевский, А. А. Механизм растворения изовалентной примеси в ультратонких пленках поликристаллического кремния / А. А. Ковалевский, А. С. Строгова, С. В. Гранько // Microwave & Telecommunication Technology: 27 th International Conference (CriMiCo’2017) (Sevastopol, September 10 – 16, 2017). – Sevastopol, 2017. – С. 1042 – 1049. |
| Аннотация: | Представлен механизм растворения изовалентной примеси в ультратонких пленках поликристаллического кремния и выведена формула расчета равновесной концентрации носителей заряда при легировании поликристаллических пленок кремния германием. Установлено, что равновесная концентрация германия в ультратонких пленках поликристаллического кремния меняется пропорционально корню квадратному величины давления его одноатомных паров в газовой фазе. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29373 |
| Располагается в коллекциях: | Публикации в зарубежных изданиях |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Kovalevskiy_Mekhanizm.pdf | 150.76 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.