Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29411
| Title: | Ионно-оптическая система мультипольного многоапертурного ионно- лучевого источника для нанопокрытий |
| Authors: | Курапцова, А. А. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;ионно-оптическая система;мультипольный многоапертурный ионно-лучевой источник;нанопокрытия |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Курапцова, А. А. Ионно-оптическая система мультипольного многоапертурного ионно- лучевого источника для нанопокрытий : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 03 / А. А. Курапцова ; науч. рук. Ю. А. Родионов. - Минск : БГУИР, 2017. - 7 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29411 |
| Appears in Collections: | 1-41 80 03 Нанотехнологии и наноматериалы (в электронике)
|
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
