https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29419| Title: | Исследование влияния СВЧ предионизации на условия пробоя в молекулярных газах в разрядной системе Е-типа |
| Authors: | Лушакова, М. С. Тихон, О. И. |
| Keywords: | публикации ученых;СВЧ;предионизации;газовый разряд |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | ГрГУ им. Я. Купалы |
| Citation: | Лушакова, М. С. Исследование влияния СВЧ предионизации на условия пробоя в молекулярных газах в разрядной системе Е-типа / М. С. Лушакова, О. И. Тихон // Физика конденсированного состояния (ФКС – XXV): XXV Международная научно-практическая конференция аспирантов, магистрантов и студентов. – Гродно: ГрГУ, 2017. – С. 203 – 205. |
| Abstract: | Проведено исследование характеристик возбуждения, поддержания и погасания разряда в молекулярных газах для селективного травления материалов плазмой низкочастотного разряда (10-30 кГц) Е-типа в условиях предионизации плазмы СВЧ разрядом. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29419 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Lushakova_Issledovaniye.PDF | 560.58 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.