https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29421| Title: | Спектральная диагностика тлеющего разряда комбинированного типа |
| Authors: | Лушакова, М. С. Тихон, О. И. |
| Keywords: | публикации ученых;комбинированный разряд;тлеющий разряд |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | Белорусско-Российский университет |
| Citation: | Лушакова, М. С. Спектральная диагностика тлеющего разряда комбинированного типа / М. С. Лушакова, О. И. Тихон // Новые материалы, оборудование и технологии в промышленности: материалы Международной научно-технической конференции молодых ученых (Могилев, 26 – 27 октября 2017 г.). – Могилев: Белорусско-Российский университет, 2017. – С. 89. |
| Abstract: | Проведено изучение спектральных характеристик комбинированного (НЧ+СВЧ поля) разряда в процессе плазмо-химического травления пластин монокристаллического кремния. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29421 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Lushakova_Spektralnaya.pdf | 157.76 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.