Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30459
| Title: | Прецизионные методы оперативного контроля толщины тонких пленок в процессе их создания |
| Authors: | Григорук, Н. А. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;прецизионные методы;оперативный контроль;толщина тонких пленок |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Григорук, Н. А. Прецизионные методы оперативного контроля толщины тонких пленок в процессе их создания : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 03 / Н. А. Григорук ; науч. рук. Ю. А. Родионов. - Минск : БГУИР, 2018. - 7 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30459 |
| Appears in Collections: | 1-41 80 03 Нанотехнологии и наноматериалы (в электронике)
|
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
