https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30739| Title: | Электрохимическая технология микро- и наноэлектронных устройств |
| Other Titles: | Electrochemical technology for micro- and nanoelectron devices |
| Authors: | Сокол, В. А. |
| Keywords: | доклады БГУИР;анодирование;алюминий;пористый оксид алюминия;наноэлектронные устройства |
| Issue Date: | 2004 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Сокол, В. А. Электрохимическая технология микро- и наноэлектронных устройств / В. А. Сокол // Доклады БГУИР. - 2004. - № 3 (7). - С. 18 - 26. |
| Abstract: | Приведены результаты работ по созданию электрохимической технологии микро- и нано- электронных устройств, в основном гибридных интегральных микросхем и многокристаль- ных модулей. Рассмотрены технологии алюминиевых оснований, многоуровневых систем межсоединений и алюминиевых корпусов для ГИС и СБИС. Представлены результаты ра- бот по созданию электрохимической технологии изготовления наноэлектронных устройств, таких, как матричные управляемые автоэмиссионные катоды и транзисторы, работающие на основе квантового эффекта одноэлектронного переноса. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30739 |
| Appears in Collections: | №3 (7) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Sokol_Electrochemical.pdf | 690.86 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.