| Title: | Электрохимическая технология микро- и наноэлектронных устройств |
| Other Titles: | Electrochemical technology for micro- and nanoelectron devices |
| Authors: | Сокол, В. А. |
| Keywords: | доклады БГУИР;анодирование;алюминий;пористый оксид алюминия;наноэлектронные устройства |
| Issue Date: | 2004 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Сокол, В. А. Электрохимическая технология микро- и наноэлектронных устройств = Electrochemical technology for micro- and nanoelectron devices / В. А. Сокол // Доклады БГУИР. – 2004. – № 3 (7). – С. 18–26. |
| Abstract: | Приведены результаты работ по созданию электрохимической технологии микро- и нано-
электронных устройств, в основном гибридных интегральных микросхем и многокристальных модулей. Рассмотрены технологии алюминиевых оснований, многоуровневых систем
межсоединений и алюминиевых корпусов для ГИС и СБИС. Представлены результаты работ по созданию электрохимической технологии изготовления наноэлектронных устройств,
таких, как матричные управляемые автоэмиссионные катоды и транзисторы, работающие
на основе квантового эффекта одноэлектронного переноса. |
| Alternative abstract: | Results of electrochemical technology creating of micro- and nanoelectronics facilities mainly
hybrid microcircuits and multichip packages are cited. Aluminium substrates, multiple-level system of
interconnections and aluminium frames for VLSI-circuits technologies are viewed. Results of electrochemical technology creating of nanoelectronics facilities such as operated matrix field-emission cathodes and transistors, based on single-electron transport quantum effect are presented. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30739 |
| Appears in Collections: | №3 (7)
|
