Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30783
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorПетлицкая, Т. В.-
dc.date.accessioned2018-03-30T10:47:03Z-
dc.date.available2018-03-30T10:47:03Z-
dc.date.issued2003-
dc.identifier.citationПетлицкая, Т. В. МОП-конденсаторы повышенной емкости для субмикронных СБИС / Т. В. Петлицкая // Доклады БГУИР. - 2003. - № 1. - С. 70 - 74.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30783-
dc.description.abstractПредложен вариант комбинированного диэлектрика SiO2/Ta2O5, для конденсаторов СБИС. Дан анализ его электрофизических и механических свойств. Рассмотрено влияние толщины каждого из диэлектриков на электрофизические свойства. Установлена зависимость изменения эффективного встроенного заряда в пленке Ta2O5 от радиуса кривизны пластины. На основании изучения характеристик тестовых конденсаторов с различными вариантами толщины пленок SiO2 и Ta2O5 определено оптимальное сочетание толщины пленок. Проведено промышленное опробование разработанного диэлектрика на экспериментальных партиях пластин.Main properties of MOS-capasitors on the basis SiO2/Ta2O5 have been investegated. The dependence of effective installed charge in Ta2O5 thin film on wafer radius has been obtained. Test capasitors were created within VLSIs in standard industrial conditions.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectдоклады БГУИРru_RU
dc.subjectпленки с высокой диэлектрической проницаемостьюru_RU
dc.subjectМОП-конденсаторыru_RU
dc.subjectсвойстваru_RU
dc.subjectприменение в СБИСru_RU
dc.titleМОП-конденсаторы повышенной емкости для субмикронных СБИСru_RU
dc.title.alternativeEffective MOS-capasitors for submicron VLSIs applicationsru_RU
dc.typeСтатьяru_RU
Appears in Collections:№1

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Petlitskaya_MOP.pdf227.97 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.