Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item:
Title: Особенности роста пористого оксида алюминия
Other Titles: Features of growth of porous aluminium oxide
Authors: Сокол, В. А.
Keywords: доклады БГУИР;анодирование;пористый оксид;алюминий;микроэлектроника
Issue Date: 2003
Publisher: БГУИР
Citation: Сокол, В. А. Особенности роста пористого оксида алюминия / В. А. Сокол // Доклады БГУИР. - 2003. - № 1. - С. 75 - 82.
Abstract: Представлены результаты теоретических и экспериментальных исследований процесса зарождения и роста пористого оксида алюминия, широко используемого в технологии изготовления алюминиевых оснований, многоуровневой системы межсоединений и алюминиевых корпусов микроэлектронных многокристальных модулей.The results of theoretical and experimental investigations of origin processes and growth of porous aluminium oxide widely used in the technology of aluminium bases, of multilevel system of interconnection and aluminium packages of microelectronic multichip modules manufacturing are presented.
Appears in Collections:№1

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Sokol_Osobennosti.pdf224.06 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.