| Title: | Особенности роста пористого оксида алюминия |
| Other Titles: | Features of growth of porous aluminium oxide |
| Authors: | Сокол, В. А. |
| Keywords: | доклады БГУИР;анодирование;пористый оксид;алюминий;микроэлектроника |
| Issue Date: | 2003 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Сокол, В. А. Особенности роста пористого оксида алюминия / В. А. Сокол // Доклады БГУИР. - 2003. - № 1. - С. 75 - 82. |
| Abstract: | Представлены результаты теоретических и экспериментальных исследований процесса
зарождения и роста пористого оксида алюминия, широко используемого в технологии
изготовления алюминиевых оснований, многоуровневой системы межсоединений и
алюминиевых корпусов микроэлектронных многокристальных модулей. |
| Alternative abstract: | The results of theoretical and experimental investigations of origin processes and growth of porous aluminium oxide widely used in the technology of aluminium bases, of multilevel system of interconnection and aluminium packages of microelectronic multichip modules manufacturing are presented. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30789 |
| Appears in Collections: | №1
|
