| Title: | Методика определения способности обнаружения изолированных дефектов при автоматическом контроле оригиналов топологии на фотошаблонах методом сравнения с проектными данными |
| Other Titles: | Method to determine a detection capability of the die-to-database mask inspection system in regard to isolated defects |
| Authors: | Аваков, С. М. |
| Keywords: | доклады БГУИР;топология СБИС;фотошаблон;обнаружение дефектов |
| Issue Date: | 2007 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Аваков, С. М. Методика определения способности обнаружения изолированных дефектов при автоматическом контроле оригиналов топологии на фотошаблонах методом сравнения с проектными данными / С. М. Аваков // Доклады БГУИР. - 2007. - № 3 (19). - С. 101 - 106. |
| Abstract: | В статье представлены описание и результаты использования новой методики определения
обнаружительной способности установок автоматического контроля оригиналов топологии.
Эта методика реализована в установках ЭМ-6029Б и ЭМ-6329, которые осуществляют контроль оригиналов топологии СБИС на фотошаблонах путем сравнения топологии фотошаблона с проектными данными. Методика разработана для проведения испытаний с целью определения способности обнаружения дефектов типа прокол и островок (изолированных дефектов). |
| Alternative abstract: | The paper presents a description and results of the use of a new technique to determine the detection capability of the automatic mask inspection systems. This technique is realized in the
EM-6029B and EM-6329 systems, which employ the die-to-database inspection method. The technique is designed to determine the capability to detect such defects as pinholes and pindots (isolated
Defects). |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31203 |
| Appears in Collections: | №3 (19)
|
