Артефакты измерений, вносимые зондом атомного силового микроскопа в процессе сканирования

Abstract

Рассмотрены примеры и причины возникновения погрешностей метрических характеристик при изучении микро- и нанообъектов с помощью атомно-силового микроскопа (АСМ). Показан процесс деградации острия зонда как при последовательном сканировании одного и того же участка поверхности образца, так и в ходе проведения только одного сканирования. На примере АСМ-изображений клеток крови — лейкоцитов, полученных зондом с двумя разноуровневыми остриями, показана возможность минимизации влияния формы острия зонда на объективность воспроизведения нанорельефа поверхности исследуемого образца.