Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31787
Title: Наноструктурные свойства тонких пленок ниобия
Other Titles: Nanostructure properties of niobium thin films
Authors: Циркунова, Н. Г.
Лазарук, С. К.
Ухов, В. А.
Борисенко, В. Е.
Keywords: доклады БГУИР;атомно-силовая микроскопия;модификация поверхности;параметры поверхности
Issue Date: 2008
Publisher: БГУИР
Citation: Наноструктурные свойства тонких пленок ниобия / Н. Г. Циркунова и другие // Доклады БГУИР. - 2008. - № 4 (34). - С. 48 - 53.
Abstract: Исследованы структурные изменения тонких пленок ниобия, нанесенных магнетронным распылением; определена их пригодность для формирования наноразмерных структур с помощью атомного силового микроскопа (АСМ). Изучены структурные изменения в ниобиевых пленках, вызванные примесью железа (10 ат.%). Установлено, что в пределах толщин пленки 15–200 нм этот параметр существенно влияет на зернистость и шероховатость поверхности в отличие от чистых пленок. Показано, что основным ограничением в использовании ниобиевых пленок для формирования наноструктур является образование пленки естественного окисла на их поверхности после извлечения из вакуумной камеры.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31787
Appears in Collections:№4 (34)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Tsirkunova_Nanostructure.PDF476.67 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.