Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31807
Title: Структурные и электрофизические свойства бинарных и тройных сплавов алюминия для металлизации микродисплеев типа LED-ON-SILICON
Other Titles: Structural and electrophysical properties of aluminium binary and ternary alloys for metallization of LED-ON-SILICON microdisplays
Authors: Черных, А. Г.
Павлюковец, С. А.
Смирнов, А. Г.
Ригольд, С. В.
Keywords: доклады БГУИР;металлизация ИС;сплавы алюминия;редкоземельные металлы;микродисплейные устройства;структурные и электрофизические свойства
Issue Date: 2008
Publisher: БГУИР
Citation: Структурные и электрофизические свойства бинарных и тройных сплавов алюминия для металлизации микродисплеев типа LED-ON-SILICON = Structural and electrophysical properties of aluminium binary and ternary alloys for metallization of LED-ON-SILICON microdisplays / А. Г. Смирнов [и др.] // Доклады БГУИР. – 2008. – № 5 (35). – С. 97–103.
Abstract: Исследованы и объяснены закономерности, связывающие условия формирования тонких пленок А1+0,8%Но, Al+0,8%Ho+l%Si, Al+l%Si, Al+l,5%Si, Al+l,5%Si+4%Cu (% по массе) при магнетронном распылении со структурой пленок, устойчивостью их при термообработ­ках, профилем распределения легирующей примеси, электросопротивлением, качеством пе­рекрытия ступенчатого рельефа поверхности. Показано, что пленки тройного сплава Al+0,8%Ho+l%Si при заданных температурных режимах осаждения и отжига обладают наилучшим сочетанием электрических, морфологических свойств и могут быть использо­ваны в качестве металлизации микродисплеев типа LED-ON-SILICON.
Alternative abstract: Structural and electrophysical properties of magnetron sputtered binary and ternary alloys Al+0,8%Ho, Al+0,8%Ho+l%Si, Al+l% Si, Al+l,5% 5i and Al+l,5% Si+4%Cu were studied and explained. It was observed that ternary alloys Al+0,8%Ho+l%Si fabricated and annealed at special temperature regimes are characterized by the best combination of electrical and morphological features and can be used as metallization of modem LED-ON-SILICON microdisplays.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31807
Appears in Collections:№5 (35)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Chernykh_Strukturnyye.PDF309.11 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.