https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31826| Title: | Струйная нанолитография для создания дисплеев на основе автоэлектронной эмиссии |
| Other Titles: | Jet nanolithography for field emission and surface-conduction electron-emitter displays |
| Authors: | Тимощенко, И. А. |
| Keywords: | доклады БГУИР;нанотехнологии;нанолитография |
| Issue Date: | 2008 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Тимощенко, И. А. Струйная нанолитография для создания дисплеев на основе автоэлектронной эмиссии / И. А. Тимощенко // Доклады БГУИР. - 2008. - № 5 (35). - С. 124 - 131. |
| Abstract: | В работе теоретически обоснована возможность создания последовательного метода наноитографии с предельно достижимыми параметрами при использовании жидкостных наноструй из химически активных элементов для создания дисплеев с полевой эмиссией и дисплеев на основе эмиссии электронов с проводящей поверхности. В результате исследований предложена схема нанолитографической установки, сделано сравнение с существующими параллельными методами литографии, рассчитана ее возможная производительность. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31826 |
| Appears in Collections: | №5 (35) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Timoshchenko_Struynaya.PDF | 300.59 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.