https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31852| Title: | Аналитическая оценка структурных особенностей тонких металлических пленок, формируемых методом ионно-плазменного напыления |
| Authors: | Маргун, Ю. С. Поваляева, Н. И. Степанцов, Е. В. Макаревич, Я. С. Петрушкевич, В. Р. |
| Keywords: | материалы конференций;тонкие металлические пленки;ионно-плазменное напыление |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Аналитическая оценка структурных особенностей тонких металлических пленок, формируемых методом ионно-плазменного напыления / Ю. С. Маргун и другие // Компьютерные системы и сети: материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23 – 27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2018. – С. 142 – 144. |
| Abstract: | Исследована микроструктура поверхности тонких металлических пленок Al и его бинарных сплавов с хромом и железом, сформированных ионно-ассистированным осаждением на стеклянных подложках, методом растровой электронной микроскопии (РЭМ). Проведен анализ полученных РЭМ изображений методом случайных секущих. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31852 |
| Appears in Collections: | Компьютерные системы и сети : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Margun_Analiticheskaya.pdf | 638.08 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.