Исследование процесса формирования пленок оксида никеля ионно-лучевым распылением при изменении состава газовой смеси

Ярмашук, Е. С.; Бурко, С. С.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32892

Title:	Исследование процесса формирования пленок оксида никеля ионно-лучевым распылением при изменении состава газовой смеси
Authors:	Ярмашук, Е. С. Бурко, С. С.
Keywords:	материалы конференций;пленки оксида никеля;ионно-лучевое распыление;изменение состава газовой смеси
Issue Date:	2018
Publisher:	БГУИР
Citation:	Ярмашук, Е. С. Исследование процесса формирования пленок оксида никеля ионно-лучевым распылением при изменении состава газовой смеси / Е. С. Ярмашук, С. С. Бурко // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: сборник тезисов 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2018. – С. 208.
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32892
Appears in Collections:	Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Yarmashuk_Issledovaniye.pdf		399.36 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar