| Title: | Технологические процессы обработки материалов, проводимые с использованием плазмы двухчастотного разряда |
| Authors: | Козлова, С. А. |
| Keywords: | материалы конференций;двухчастотный емкостно-связанный плазменный реактор;обработка метериалов |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Козлова, С. А. Технологические процессы обработки материалов, проводимые с использованием плазмы двухчастотного разряда / С. А. Козлова // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: сборник тезисов 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2018. – С. 158 - 159. |
| Abstract: | В последнее время спрос на уменьшенный размер элементов и повышенную плотность устройств на кремниевых
пластинах большего диаметра привел к появлению интегрированного кластерного инструмента для изготовления
полупроводниковых приборов. Методы изготовления полупроводников используются для формирования интегральных схем
на пластинах и часто включают в себя плазменные технологии для травления материалов из полупроводниковой пластины.
Такие процессы плазменного травления, также известные как «сухое травление», обычно выполняются в плазменном
реакторе, который использует радиочастотные генераторы для обеспечения мощности одного или нескольких электродов в
вакуумной камере, содержащей газ с заданным давлением, определенным соответствующим процессом. Двухчастотные
системы обычно используются для получения более высокой плотности ионов в плазме. Такой подход существенно влияет на
скорость травления. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32912 |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
