Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33239
Title: Исследование свойств тонких пленок ниобия для формирования столбиковых структур
Other Titles: Investigation of properties of thin niobium films for formation of column structures
Authors: Циркунова, Н. Г.
Лазарук, С. К.
Ухов, В. А.
Борисенко, В. Е.
Tsirkunova, N. G.
Lazarouk, S. K.
Uhov, V. A.
Borisenko, V. E.
Keywords: доклады БГУИР
атомно-силовая микроскопия
модификация поверхности
параметры поверхности
Issue Date: 2010
Publisher: БГУИР
Citation: Исследование свойств тонких пленок ниобия для формирования столбиковых структур / Н. Г. Циркунова и др. // Доклады БГУИР. - 2010. - № 3 (49). - С. 51 - 56.
Abstract: Показана возможность формирования наноразмерных столбиковых структур кремния высотой до 1 мкм с использованием в качестве маски при травлении наноструктурированных пленок ниобия толщиной 15–200 нм, а также влияние исходной толщины ниобиевой пленки, наносимой магнетронным распылением, на размер зерна и геометрические размеры островков масочного слоя.This work is oriented on investigation of possibility of formation nanosize column structures on the basis of thin niobium films. Influence of an initial thickness Nb film received by magnetron sputtering, upon the size of grain and the geometrical sizes of islets of mask layer, formed by dispersion is shown. As methods of surface research we used raster electronic microscope and atomic force microscope.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33239
Appears in Collections:№3 (49)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Tsirkunova_Investigation.PDF568,07 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.