| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Черных, А. Г. | - |
| dc.contributor.author | Мигас, Д. Б. | - |
| dc.contributor.author | Лешок, А. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-11-06T08:07:17Z | - |
| dc.date.available | 2018-11-06T08:07:17Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Черных, А. Г. Технология изготовления КМОП-транзисторов : учеб.-метод. пособие / А. Г. Черных, Д. Б. Мигас, А. А. Лешок. – Минск : БГУИР, 2018. – 71 с. : ил. | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-543-430-7. | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33395 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрены конструктивно-технологические особенности изготовления
КМОП-транзисторов для ИМС. Определены физические ограничения и ключевые
технологические процессы КМОП-элементов с проектными нормами менее 90 нм.
Рассмотрены методы формирования КМОП-структур с high-k-диэлектриком и металлическим затвором, а также различные типы многозатворных МОП-транзисторов. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | учебно-методические пособия | ru_RU |
| dc.subject | КМОП-транзисторы | ru_RU |
| dc.subject | КМОП-элементы | ru_RU |
| dc.title | Технология изготовления КМОП-транзисторов : учеб.-метод. пособие | ru_RU |
| dc.type | Учебные материалы | ru_RU |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники
|
