https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33395| Title: | Технология изготовления КМОП-транзисторов : учеб.-метод. пособие |
| Authors: | Черных, А. Г. Мигас, Д. Б. Лешок, А. А. |
| Keywords: | учебно-методические пособия;КМОП-транзисторы;КМОП-элементы |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Черных, А. Г. Технология изготовления КМОП-транзисторов : учеб.-метод. пособие / А. Г. Черных, Д. Б. Мигас, А. А. Лешок. – Минск : БГУИР, 2018. – 71 с. : ил. |
| Abstract: | Рассмотрены конструктивно-технологические особенности изготовления КМОП-транзисторов для ИМС. Определены физические ограничения и ключевые технологические процессы КМОП-элементов с проектными нормами менее 90 нм. Рассмотрены методы формирования КМОП-структур с high-k-диэлектриком и металлическим затвором, а также различные типы многозатворных МОП-транзисторов. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33395 |
| ISBN: | 978-985-543-430-7 |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Chernih_2018.pdf | 5.22 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.