Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item:
Title: Технология изготовления КМОП-транзисторов : учеб.-метод. пособие
Authors: Черных, А. Г.
Мигас, Д. Б.
Лешок, А. А.
Keywords: учебно-методические пособия;КМОП-транзисторы;КМОП-элементы
Issue Date: 2018
Publisher: БГУИР
Citation: Черных, А. Г. Технология изготовления КМОП-транзисторов : учеб.-метод. пособие / А. Г. Черных, Д. Б. Мигас, А. А. Лешок. – Минск : БГУИР, 2018. – 71 с. : ил.
Abstract: Рассмотрены конструктивно-технологические особенности изготовления КМОП-транзисторов для ИМС. Определены физические ограничения и ключевые технологические процессы КМОП-элементов с проектными нормами менее 90 нм. Рассмотрены методы формирования КМОП-структур с high-k-диэлектриком и металлическим затвором, а также различные типы многозатворных МОП-транзисторов.
ISBN: 978-985-543-430-7.
Appears in Collections:Кафедра микро- и наноэлектроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Chernih_2018.pdf5.22 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.