https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33878| Title: | Роль термодинамики при выборе прекурсоров под осаждение DLC покрытий |
| Authors: | Ковалевский, А. А. Котов, Д. А. Корзун, К. А. Никитюк, С. А. Гранько, С. В. |
| Keywords: | публикации ученых;ацетилен;углеводороды;энтальпия;энтропия;энергия Гиббса;энергия связи |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУ |
| Citation: | Роль термодинамики при выборе прекурсоров под осаждение DLC покрытий / А. А. Ковалевский и др. // Материалы и структуры современной электроники : материалы VIII Международной научной конференции, Минск, 10 - 12 октября 2018 г. / редкол.: В. Б. Оджаев [и др.]. – Минск : БГУ, 2018. – С. 261 – 266. |
| Abstract: | Проведены численные расчеты энергий разрыва химических связей и изменения энергии Гиббса с температурой для соединений, представляющих интерес в технологии производства алмазоподобных углеродных покрытий. При проведении термодинамических расчетов реакций разложения углеводородов до углерода особое внимание было сосредоточено на метане (СН4), этилене (С2Н4),ацетилене (С2Н2) и гексилене (С6Н12), поскольку они привлекательны, благодаря минимальному соотношению в их структуре между атомами углерода и водорода. Показано, что из всех рассмотренных углеводородов и механизмов их разложения наиболее перспективным для формирования алмазоподобных (DLC) пленок является ацетилен. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33878 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kovalevskiy_Rol.PDF | 103.75 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.