https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33949| Title: | Формирование металооксидных пленочных наноструктур на основе анодного Al2O3 c равномерно распределенными наноразмерными включениями Та и их электрические свойства |
| Authors: | Чернякова, Е. В. Врублевский, И. А. Муратова, Е. Н. Канаев, М. А. Мошников, В. А. |
| Keywords: | публикации ученых;температурный коэффициент сопротивления;двухслойные пленки Та-Al |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | СПбГЭТУ «ЛЭТИ» |
| Citation: | Формирование металооксидных пленочных наноструктур на основе анодного Al2O3 c равномерно распределенными наноразмерными включениями Та и их электрические свойства / Е. В. Чернякова [и др.] // Вакуумная техника и технологии – 2018 : материалы 25-й Всероссийской научно-техническая конференция с международным участием, Санкт-Петербург, 5-7 июня 2018 г. – Санкт-Петербург : СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2018. – С. 20–22. |
| Abstract: | В работе представлены результаты исследований формирования пленочных металооксидных наноструктур с островковыми танталовыми включениями на основе процессов анодирования двухслойных пленок Та-Al. Изучены удельное поверхностное сопротивление и температурный коэффициент сопротивления таких наноструктур. Полученные результаты показывают, что предложенная методика позволяет полностью ко пировать ячеисто-пористую структуру анодного оксида алюминия и формировать наноструктурированную танталовую пленку островкового характера с диэлектрической фазой в местах пор. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33949 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Chernyakova_Formirovaniye.pdf | 121.08 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.