https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34228| Title: | Система перемещений установки автоматического контроля оригиналов топологии |
| Authors: | Титко, Д. С. Салманзадех, Г. Й. Марко, А. Ф. |
| Keywords: | материалы конференций;координатная система;контроль качества |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Титко, Д. С. Система перемещений установки автоматического контроля оригиналов топологии / Д. С. Титко, Г. Й. Салманзадех, А. Ф. Марко // Информационные технологии и системы 2018 (ИТС 2018) = Information Technologies and Systems 2018 (ITS 2018) : материалы международной научной конференции, Минск, 25 октября 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол. : Л. Ю. Шилин [и др.]. – Минск, 2018. – С. 74 - 75. |
| Abstract: | В работе представлена и описана прецизионная система перемещений установки автоматического контроля оригиналов топологии, используемая для достижения при сканировании точного совмещения координатной системы фотошаблона и координатной системы самой установки контроля и с чувствительностью до 10 нм. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34228 |
| Appears in Collections: | ИТС 2018 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Titko_Sistema.PDF | 258.38 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.