https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34236| Title: | Исследование процесса лазерной прошивки отверстий в кремнии при формировании 3D структур |
| Authors: | Ланин, В. Л. Лаппо, А. И. Первенецкий, А. П. |
| Keywords: | публикации ученых;лазерное излучение;прошивка отверстий;кремний;3D структуры |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | МИРЭА |
| Citation: | Ланин, В. Л. Исследование процесса лазерной прошивки отверстий в кремнии при формировании 3D структур / В. Л. Ланин, А. И. Лаппо, А. П. Первенецкий // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения «INTERMATIC-2018»: материалы Международной научно-технической конференции, Москва, 19 – 23 ноября 2018 г. / МИРЭА — Российский технологический университет. – Москва, 2018. – С. 392 – 395. |
| Abstract: | Моделированием установлено, что диаметр и глубина отверстий зависят нелинейно от энергии излучения, поэтому эффективно применять лазер с энергий более 5 Дж. Многоимпульсная обработка позволяет получать отверстия серией коротких импульсов, период следования которых значительно больше времени остывания материала. Для кремния, обладающего большей тепло-проводностью, необходимо увеличить частоту импульсов и вре-мя обработки в сравнении с поликором в 4 раза. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34236 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Lanin_Issledovaniye.pdf | 861.76 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.