https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34276| Title: | Получение и свойства тонких пленок с кремниевыми, германиевыми и кремний-германиевыми наноструктурам |
| Authors: | Ковалевский, А. А. Строгова, А. С. Кузнецов, Д. Ф. |
| Keywords: | публикации ученых;пленки кремний-германия;формирование нанокластеров;свойства тонких пленок;разновидности наноструктур |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | Бестпринт |
| Citation: | Ковалевский, А. А. Получение и свойства тонких пленок с кремниевыми, германиевыми и кремний-германиевыми наноструктурам: монография / А. А. Ковалевский, А. С. Строгова, Д. Ф. Кузнецов. - Минск: Бестпринт; 2018. – 218 с.: ил. |
| Abstract: | В монографии изложены результаты фундаментальных и прикладных исследований кремний-германиевых наноструктурированных пленок и нанокластеров. Описаны различные методы получения и исследования пленок для создания нанокластеров и использования их при разработке альтернативных высокоэффективных нанотехнологий. Монография предназначена для научных сотрудников, специалистов, студентов I и II ступеней высшего образования, а также аспирантов и докторантов, специализирующихся на выполнения различных исследований, связанных с разработкой нанотехнологий для создания новых изделий электронной техники. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34276 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kovalevskiy_Polucheniye.pdf | 117.05 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.