https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34278| Title: | Разложение моносилана в газовой фазе с использованием катализатора Co40Fe8Pt50Ni2 на полиимидном носителе |
| Authors: | Ковалевский, А. А. Строгова, А. С. Кузнецов, Д. Ф. Воронец, Я. С. |
| Keywords: | публикации ученых;моногидриды;моносилан;полиметаллический катализатор;пленки кремния;полиимид |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | Новые технологии |
| Citation: | Разложение моносилана в газовой фазе с использованием катализатора Co40Fe8Pt50Ni2 на полиимидном носителе / А. А. Ковалевский [и др.] // Нано- и микросистемная техника. - 2018. - № 12. - С. 756-764. – DOI: 10.17587/nmst.20. |
| Abstract: | Показана высокая степень эффективности полиметаллического катализатора (ПМК) Co40Fe8Pt50Ni2 на полиимидном носителе в процессе разложения моносилана при осаждении наноструктурированных поликристаллических пленок кремния. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34278 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kovalevskiy_Razlozheniye.pdf | 113.46 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.