Skip navigation
DSpace logo
  1. Репозиторий БГУИР
  2. Авторефераты диссертаций и отчеты о НИР
  3. Авторефераты магистерских диссертаций
  4. 1-41 80 02 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/3429
Title: Компьютерное моделирование разряда в скрещенных ExH полях магнетронных распылительных систем
Authors: Карбанович, Б. О.
Keywords: авторефераты диссертаций;компьютерное проектирование;магнетронные распылительные системы
Issue Date: 2015
Publisher: БГУИР
Citation: Карбанович, Б. О. Компьютерное моделирование разряда в скрещенных ExH полях магнетронных распылительных систем : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 02 / Б. О. Карбанович ; науч. рук. А. П. Достанко. - Мн.: БГУИР, 2015.- 15 с.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/3429
Appears in Collections:1-41 80 02 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Автореферат.pdf1.35 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.